上海奉贤区MEMS器件光学无尘车间的规划与建设

随着科学技术的飞速发展，微电子制造领域对生产环境的要求越来越高。特别是对于MEMS器件和光学产品的制造，一个微小的颗粒就可能影响产品的质量和性能。因此，洁净车间的重要性不言而喻。今天我们就以EPC工程(总承包)集成服务商CEIDI希迪的项目为例，重点介绍MEMS器件光学无尘车间的规划建设。

在MEMS器件的光学无尘车间，工人需要在达到ISO 14644-1标准中5级或更高的环境中操作，即每立方米空气体中的粒子浓度小于或等于35200粒子/m..它包括MEMS器件的设计、制造、封装和测试。而且车间内的空气体净化系统需要不断净化空气体，以减少粉尘和污染物对MEMS器件的影响。

根据重要的生产区域，可分为以下清洁等级:清洁生产区域根据物料的需要可达到100、1000、10000级。无尘生产辅助用房达到10000和100000。其管理区域的清洁度水平为10万或30万，包括办公室、会议室、值班室和休息区。车间生产专用设备区对空气体净化等级没有要求，但需要通过物理或空气体与净化车间有效隔离。主要设施包括净化空调节间、电气间、纯水间、生产气间。

其中，洁净厂房的循环参数主要是按照级别描述室内换气次数:

(1)十万净化车间通风次数每小时不应少于15次；

(2)万级无尘车间通风次数每小时不应少于20次；

(3)千级洁净室换气次数每小时不应少于50次；

(4)百级超净室和十级超净棚不以换气次数为标准，而是以全天送花形式送风，以全地回风形式回风，即增加送风和回风出风口所占面积的比例，通过控制送风速度在0.3-0.5m/s来计算净化组合空调节机组的送风量进行反算。

此外，光微电子超净无尘车间的装修材料选择也要特别注意。例如，尘粒是微电子制造过程中的主要污染物之一，MEMS器件制造过程中使用的化学物质也可能对某些材料产生腐蚀作用。因此，车间内的吊顶材料一般采用FFU盲板或防火彩钢板，车间内的墙面装饰材料一般选用防火彩钢板，不仅隔音隔热性能好，还能有效防止静电的产生。

通过合理的装修和设计，可以有效提高MEMS器件光学无尘车间的洁净度和环境质量，为生产高质量的产品提供了有力的保障。CEIDI希迪，EPC工程(总承包)集成服务商，在行业内有着极佳的口碑和丰富的经验。做过各种大型无尘车间，可以根据项目提供整体解决方案。

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